2012年9月28日星期五
2012年9月27日星期四
大尺寸蓝宝石坩埚下降法生长炉
大尺寸蓝宝石坩埚下降法生长炉
一种大尺寸蓝宝石坩埚下降法生长炉,包括炉体、热场、真空系统、保护气氛充气系统、炉内气氛控制系统,设置在热场内腔的钼坩埚通过坩埚下保温托与坩埚杆连接,坩埚杆与主升降机构相连,钼坩埚籽晶管对应的下保温托、坩埚杆设有贯通孔,通孔内设置的副升降杆从坩埚杆底部穿出,并与副升降机构相连。通过副升降机构控制副升降杆的升降,从而为晶体生长提供足够的温度梯度,提高晶体气泡排除能力,减少晶体内部的缺陷。通过气氛控制系统,确保炉内保护气氛符合要求并保持稳定,避免了钼坩埚挥发后杂质的产生。从而有效提高晶体生长质量,生长出规则圆柱形的大尺寸优良蓝宝石晶体。2012年9月26日星期三
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